性能指標

加速電壓：0.5~30 kV；著陸電壓：0.01 ~ 20 kV；電子槍：冷場發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統(tǒng)；二次電子像信息分辨率：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；半導體式背散射電子探測器(PD-BSED)；馬達驅(qū)動軸：5軸馬達驅(qū)動（X/Y/R/Z/T）；配備EDAX能譜儀。

主要應(yīng)用

可提供材料的形貌、基本結(jié)構(gòu)與成份信息；配合能譜儀可以對樣品元素做點、線、面分布分析，以及對材料微區(qū)化學成分進行定性和半定量分析。

樣品要求

掃描電鏡不做磁性樣品；對于粉末樣品，要求樣品均勻分散在硅片或鋁箔紙上，也可直接涂抹在導電膠上。

儀器說明

該儀器廣泛應(yīng)用于化學、材料、食品、生物、物理、醫(yī)學等學科的分析研究。